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(한국나노기술원)한국나노기술원, 화합물반도체 질화갈륨 기반 고감도 가스센서 미국특허 확보

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2019.10.29 10:31 611 0

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한국나노기술원(원장 이윤덕) 박경호 박사 연구팀은 현재 수행 중인 선행공정·플랫폼기술연구개발사업을 통해 질화갈륨(GaN)계 화합물반도체 기반 센서공정플랫폼 구축을 위한 고감도 가스센서 제조 관련 미국특허를 확보하였다고 지난 24일 밝혔다. 

출처 : 데일리시큐(https://www.dailysecu.com)