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‘쉽고 저렴한’ 반도체 제조 핵심기술 개발

  • 등록일 2019-06-17
  • 조회수 3231
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국내 연구진이 반도체 칩이나 광전소자 제조에 사용하는 ‘나노패터닝(Nano patterning)’을 기존보다 쉽고 저렴하게 할 수 있는 방법을 찾았다. 나노패터닝은 나노미터 크기의 규칙적인 구조를 기판 위에 구현하는 기술이다.