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3차원 나노소자 결함 실시간 확인 기술 개발…측정장비 국산화와 첨단소자 수율 확보 기대

  • 등록일 2020-02-11
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3차원 첨단 부품 생산 현장에서 실시간으로 결함을 확인할 수 있는 기술을 국내 연구진이 개발했다. 일본 수출 규제에 따른 측정장비 국산화와 첨단소자 수율 확보에 기여할 전망이다.