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복잡한 미세패턴도 척척…UNIST, 나노 모자이크 컨트롤러 개발

  • 등록일 2020-06-23
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미세한 기판 위에서 복잡하고 정교한 형태를 미세하게 조절 하는 기술이 나왔다. 더 작은 반도체 소자 제작을 위해 필요한 10나노미터(10억분의 1미터) 이하 나노 패터닝(Nano Patterning) 공정 개발에 도움이 될 전망이다.