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유성종 KIST 박사 연구팀, 반도체 제조기술 응용해 금속 나노입자 대량생산

  • 등록일 2021-12-07
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유성종 한국과학기술연구원(KIST) 수소·연료전지연구센터 박사 연구팀이 반도체 제조에 쓰이는 금속박막 증착기술인 스퍼터 기술을 이용하여 나노입자를 합성하는 데 성공했다.