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반도체 나노 적층구조, 한 번에 실시간 검사한다

  • 등록일 2022-02-15
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한국표준과학연구원(KRISS, 원장 박현민) 광영상측정표준팀은 반도체, 디스플레이, 센서 등에 활용되는 소자 내부구조를 한 번의 측정만으로 실시간 검사하는 데 성공했다.