한국재료연구원(이하 재료연) 엔지니어링세라믹연구실 마호진, 박영조 박사 연구팀이 반도체 제조 장비 내부 오염 입자를 줄이는 '내플라즈마성 세라믹 나노복합체 신조성 및 공정' 기술을 개발, 반도체의 정밀 부품 제조사 맥테크에 기술이전 했다고 22일 밝혔다. 

링크 : https://v.daum.net/v/20230322102437411