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“단순 열처리만으로” 고해상 패턴 구현…GIST, 친환경 건식 포토레지스트 개발

  • 등록일 2025-02-18
  • 조회수 542
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국내 연구진이 단순한 열처리만으로 구현 가능한 혁신적인 친환경 건식 포토레지스트를 개발했다.

 

링크 : https://v.daum.net/v/20250217112209489


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