NIT Multi-Project Chip 모집공고

("NANO NMOS / MEMS" MPC)

1. 사업의 개요

: 본 사업은 과학 기술부에서 지원하고 서울대학교 반도체 공동 연구소(ISRC)에서 주관하는 "NT-IT 융합기술 인력양성 지원 사업"의 일환으로서, 마스크를 공동 제작하고 칩제작을 ISRC에서 수행하여 "NANO NMOS 및 MEMS 소자"를 제작하게 됩니다. 제작 비용은 전액 과학기술부의 지원을 받아서 진행됩니다.

2. 신청 기간

: 2004년 9월 1일 ~ 2004년 9월 20일

3. 모집 대상

 각 대학 반도체 관련 연구원 및 nano산업기술연구조합 산하 산업체 연구원으로서 nano device characterization, modeling, 간단한 nano NMOS 회로나 MEMS 구조물의 구현에 관심 있는 자

3. 공정 특성

<70㎚ NMOS>

① 0.5um NMOS Technology

② 2um Metal Pitch

③ 1.2V Operation

④ 1-poly, 1-Metals

⑤ Mesa isolation

⑥ Gate Oxide : 15, 20, 30Å

⑦ Lg=70㎚, n+poly gate

⑧ Rapid Thermal Oxidation/Annealing

① 나노 그리퍼와 같은 실리콘 구조물의 부양

4. 진행 일정

① 사업설명회(8월 31일 오후 2시)

② 참가 신청 및 선정 (9월 01일~09월30일)

③ 설계 data 제출 및 reticle 제작(10월01일~11월30일)

④ chip 제작(12월01일~02월28일)

⑤ test, packaging 완료된 chip 배포(03월01일~03월25일)

⑥측정보고서 제출(04월15일 마감)

5. 기타 참고 사항

① MPC 참가를 희망하는 연구원은 설계하고자하는 소자나 회로의 내용을 제안서 양식에 맞추어 제출해야 함.

② MPC과제 참여 신청자가 제출한 제안서를 토대로 연구내용의 독창성, 공정과의 호환성 등을 평가하여 선정여부를 결정함.

③ Design에 필요한 자료들은 참여 연구원들의 선정이 끝난 후, 제공됨.

④ MPC과제 참여자들은 제작 완료된 MPC chip을 수령한 후, 결과보고서 제출의 의무를 준수해야 함. 미 제출 시에는 향후 MPC 참여에 있어 제한을 받게 됨.

⑤ 본 사업과 관련하여 발생된 연구논문에는 반도체 공동연구소의 NIT 나노 소자 MPC (Multi Project Chip) 프로그램"의 지원으로연구가 이루어졌음을 명시해야 함.

(국문) 본 논문은 과학기술부에서 지원하는

반도체 공동연구소의 NIT 나노소자 MPC (Multi Project Chip) 프로그램에 의하여    연구한 결과입니다.

     (영문) This work was supported by the NIT-MPC(Multi Project Chip) program  of the ISRC(Inter-university Semiconductor Research Center) sponsored by the Ministry of Science and Technology.

※ 국문, 영문 중 택 1.

⑥ 기타 문의할 사항은 반도체공동연구소 MPC 조교, 나노조합에 문의하시기 바랍니다.

  (오명숙 조교 02)880-5449, cutems@isrca.snu.ac.kr )