삼성전자 반도체 장비 계열사인 세메스가 전량 수입에 의존하던 반도체 포토공정용 트랙 장비인 불화아르곤이머전(ArF-i) 스피너를 국내 최초로 개발해 본격 양산에 들어갔다.

링크 : https://v.daum.net/v/20240624173202021