삼성전자 파운드리 사업부가 차세대 기술인 하이-NA 극자외선(EUV) 구현에 필요한 핵심 소재를 상용화하기 위해 속도를 내고 있다. 2㎚(나노미터·10억분의 1m) 이하 공정에서 수율 확보와 가격 경쟁력 강화에 큰 도움이 될 것으로 기대된다. 

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